ダイヤモンドダイオードの漏れ電流を誘起する欠陥検出

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21p-232-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1388

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

ダイヤモンドダイオードの漏れ電流を誘起する欠陥検出

*嶋岡毅紘, 市川公善, 渡邊賢司, 小泉聡, 寺地徳之

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キーワード: 21p-232-1, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, ダイヤモンド薄膜, エッチピット, ショットキーバリアダイオード

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