応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第79回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20p-438-1
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

有機錯体生成と錯体熱脱離を用いた酸化ランタンの選択的サイクルエッチング
*山口 欣秀, 篠田 和典, 藤崎 寿美子, 高妻 豊, 川村 剛平, 伊澤 勝
著者情報
キーワード: 20p-438-1, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, 絶縁膜のエッチング, 酸化ランタン, ドライエッチング, 有機金属錯体
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