第79回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 18p-PB2-3
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 79
開催地: 名古屋国際会議場
開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21
MEMS加速度センサにおける時間ドメイン容量検出回路の統合設計モジュールの検討
キーワード:
18p-PB2-3,
半導体,
Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術,
MEMS/NEMS/センサー/アクチュエータ,
時間ドメイン容量検出回路,
MEMS加速度センサ,
CMOS-MEMS
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