Au 錘厚膜化によるMEMS 加速度センサの高性能化の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-PB2-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_2881

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

Au 錘厚膜化によるMEMS 加速度センサの高性能化の検討

*古賀達也, 山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 飯田慎一, 伊藤浩之, 石原昇, 町田克之, 益一哉

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キーワード: 18p-PB2-4, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, MEMS/NEMS/センサー/アクチュエータ, MEMS, 積層メタル構造, 高分解能

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