高分解能3軸シングルAu錘平行平板型MEMS加速度センサの検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-PB2-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_2882

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

高分解能3軸シングルAu錘平行平板型MEMS加速度センサの検討

*市川崇志, 新島宏文, 古賀達也, 山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 飯田慎一, 伊藤浩之, 石原昇, 町田克之, 益一哉

著者情報

*市川崇志
東工大
新島宏文
東工大
古賀達也
東工大
山根大輔
東工大
小西敏文
NTT-AT
佐布晃昭
NTT-AT
飯田慎一
NTT-AT
伊藤浩之
東工大
石原昇
東工大
町田克之
東工大
益一哉
東工大

キーワード: 18p-PB2-5, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, MEMS/NEMS/センサー/アクチュエータ, MEMS, 積層メタル構造, 高分解能

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2018 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top