スパッタ条件制御による−<i>c</i>/+<i>c</i> 極性反転AlN 構造の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21p-146-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3353

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

スパッタ条件制御による−c/+c 極性反転AlN 構造の作製

*林侑介, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 三宅秀人

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キーワード: 21p-146-12, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, AlN, スパッタ, アニール

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