AR-XPSによる4H-SiC (0001) on-Axis, 4° Off-Axis基板の初期酸化過程の解明 Ⅱ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21p-PB6-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3430

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

AR-XPSによる4H-SiC (0001) on-Axis, 4° Off-Axis基板の初期酸化過程の解明 Ⅱ

桑原麻優, 佐野良介, 荒井仁, 佐野泰久, *野平博司

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キーワード: 21p-PB6-1, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, 物性評価, SiO2/SiC, AR-XPS

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