転写用ポリマー上における六方晶窒化ホウ素膜厚の光学的同定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-224B-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3734

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

転写用ポリマー上における六方晶窒化ホウ素膜厚の光学的同定

*安西勇人, 山本真人, 渡邊健司, 谷口尚, 田中秀和

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キーワード: 18p-224B-10, ナノカーボン, 層状物質, その他, 層状物質

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