LiTaO<sub>3</sub>/水晶構造における縦型リーキーSAW共振特性の解析 -スプリアス応答の電極膜厚依存性-

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-PA1-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_412

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

LiTaO₃/水晶構造における縦型リーキーSAW共振特性の解析 -スプリアス応答の電極膜厚依存性-

*浅川詩織, 林純貴, 山谷浩介, 鈴木雅視, 垣尾省司, 桑江博之, 米内敏文, 岸田和人, 水野潤

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キーワード: 18p-PA1-5, 応用物理学一般, 超音波, 圧電デバイス, SAW共振器, 縦型漏洩弾性表面波

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