SiO<sub>2</sub>被膜によるトランスバーサル型SAWフィルタの絶縁性能向上

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-PA1-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_413

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

SiO₂被膜によるトランスバーサル型SAWフィルタの絶縁性能向上

市川佑樹, 五箇繁善, 垣尾省司, *綿田堅, 野中凌, 和田圭二

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キーワード: 18p-PA1-6, 応用物理学一般, 超音波, 圧電デバイス, SAWフィルタ, ゲート駆動回路, ワイドギャップ半導体

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