応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第66回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 9p-PA3-3
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生体分子由来の炭素質スパッタ膜の有機ガス吸着特性
*大森 達生杉本 岩雄須田 順子高橋 和彦
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