第66回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 9p-PA3-2
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 66
開催地: 東京工業大学 大岡山キャンパス
開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12
アモルファス炭素膜の熱分解挙動と構造変化の均一性
*赤坂 大樹, Sarayut Tunmee, Chanan Euaruksakun, Ukit Rittihong, Ratchadaporn Supruangnet, 平田 祐樹, 大竹 尚登
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