リモート酸素プラズマ照射によるグラフェンのlayer-by-layerエッチング過程のその場透過電子顕微鏡観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 10p-M103-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_144

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

リモート酸素プラズマ照射によるグラフェンのlayer-by-layerエッチング過程のその場透過電子顕微鏡観察

*杉浦啓嗣, 近藤博基, 樋口公孝, 荒井重勇, 堤隆嘉, 石川健治, 堀勝

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キーワード: 10p-M103-6, シンポジウム, カーボン系材料プラズマプロセスの現状と課題, グラフェン, エッチング, In-situ 透過電子顕微鏡

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