応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第66回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 11a-W934-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学 大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

Ti/Au微小カンチレバーの温度依存性への積層構造の影響
*渡邊 瞳, 鈴木 拓真, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人
著者情報
キーワード: 11a-W934-3, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, MEMS/NEMS/センサー/アクチュエータ, MEMS, 金, SEM
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