Mo原料にi-Pr<sub>2</sub>DADMo(CO)<sub>3</sub>を用いたMOCVD MoS<sub>2</sub>膜の異なる成膜条件における膜質の評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 11a-W521-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_3597

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

Mo原料にi-Pr₂DADMo(CO)₃を用いたMOCVD MoS₂膜の異なる成膜条件における膜質の評価

*山崎浩多, 日比野祐介, 石原聖也, 小柳有矢, 橋本侑祐, 澤本直美, 町田英明, 石川真人, 須藤弘, 若林整, 小椋厚志

著者情報

*山崎浩多
明治大
日比野祐介
明治大
学振特別研究員
石原聖也
明治大
学振特別研究員
小柳有矢
明治大
橋本侑祐
明治大
澤本直美
明治大
町田英明
気相成長
石川真人
気相成長
須藤弘
気相成長
若林整
東工大
小椋厚志
明治大

キーワード: 11a-W521-10, ナノカーボン, 層状物質, 成長技術, 遷移金属ダイカルコゲナイド, MOCVD, 二硫化モリブデン

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