応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第66回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 10a-S011-5
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学 大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

ミストCVD法によるn型およびp型ZnO成膜への挑戦
*西 美咲, 刘 丽, ルトンジャン ピモンパン, 佐藤 翔太, 上田 真理子, 安岡 龍也, 長谷川 諒, 田頭 侑貴, 尾崎 珠子, 鄧 太 江, 川原村 敏幸
著者情報
キーワード: 10a-S011-5, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 薄膜成長, ミストCVD法
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© 2019 公益社団法人 応用物理学会
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