低ダメージマグネトロンスパッタ法で成膜したn形酸化物半導体薄膜を用いるCu<sub>2</sub>O系ヘテロ接合太陽電池の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21a-PA2-24

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_1545

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

低ダメージマグネトロンスパッタ法で成膜したn形酸化物半導体薄膜を用いるCu₂O系ヘテロ接合太陽電池の作製

*徳永浩己, 宮田俊弘, 南内嗣

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キーワード: 21a-PA2-24, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 太陽電池、光触媒, 太陽電池, マグネトロンスパッタ法, 半導体

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