N極性AlNにおけるH<sub>2</sub>エッチングを用いた表面平坦性の向上N極性AlNにおけるH<sub>2</sub>エッチングを用いた表面平坦性の向上

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20p-E310-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3556

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

N極性AlNにおけるH₂エッチングを用いた表面平坦性の向上N極性AlNにおけるH₂エッチングを用いた表面平坦性の向上

*坂本凌太, 磯野竜弥, 伊藤忠寿, 安高和哉, 川村洋史, 岡田成仁, 只友一行

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キーワード: 20p-E310-3, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MOVPE）, 窒化アルミ

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