HVPE 法による AlN ホモエピタキシャル成長における NH<sub>3</sub> 供給分圧の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20p-E310-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3555

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

HVPE 法による AlN ホモエピタキシャル成長における NH₃ 供給分圧の影響

*竹川直, 齋藤大地, 清水裕大, 後藤健, 永島徹, 山本玲緒, 熊谷義直

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キーワード: 20p-E310-2, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（HVPE, OVPE）, 窒化アルミニウム, HVPE法

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