TSSG法を応用した気相での多結晶SiCコーティング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21a-E311-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3655

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

TSSG法を応用した気相での多結晶SiCコーティング

*横林悠太, 土本直道, 各務祐気, 山本周一, 鈴木皓己, 太子敏則

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キーワード: 21a-E311-2, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, エピ／薄膜, SiCコーティング

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