Hf<sub>0.5</sub>Zr<sub>0.5</sub>O<sub>2</sub>強誘電体薄膜の相変化時に起きる微細構造変化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20p-C309-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_81

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

Hf_0.5Zr_0.5O₂強誘電体薄膜の相変化時に起きる微細構造変化

*右田真司, 太田裕之, 森田行則

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キーワード: 20p-C309-5, シンポジウム（technical), 強誘電体材料の将来デバイスへの応用, 強誘電体, ハフニウム酸化物, 相変化

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