DRAM の微細化トレンドと機能性酸化物プロセス技術

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-A401-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_118

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

DRAM の微細化トレンドと機能性酸化物プロセス技術

*廣田良浩

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キーワード: 14p-A401-1, シンポジウム, 機能性酸化物のメモリデバイス応用とその物理解明に向けて, 半導体

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