有機金属分解法を用いて作製した不純物添加SnO<sub>2</sub>薄膜の構造・電気特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13a-PA3-28

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_1349

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

有機金属分解法を用いて作製した不純物添加SnO₂薄膜の構造・電気特性

*木戸一輝, 澤畠淳二

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キーワード: 13a-PA3-28, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 薄膜、界面、ヘテロ構造, 半導体薄膜

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