水素プラズマによる固体SiからのオンサイトSi2H6生成

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-A305-4

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

水素プラズマによる固体SiからのオンサイトSi₂H₆生成

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