応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 14p-A305-11
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討
*渥美 賢, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
著者情報
キーワード: 14p-A305-11, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, MEMS/NEMS/センサー/アクチュエータ, MEMS, 加速度センサ, ピラー型電極
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