応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 13a-B401-1
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成膜後熱処理による原子層堆積Al2O3/GaNキャパシタのバイアス安定性向上
堀川 清孝川原田 洋*平岩 篤
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