応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 14a-B401-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

陽電子消滅によるSiO2/GaN構造の空隙と空孔型欠陥の検出
*上殿 明良, 上野 航, 細井 卓治, Egger W., Koschine T, Hugenschmidt C., Dickmann M., 渡部 平司
著者情報
キーワード: 14a-B401-3, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, GaN, SiO2, 欠陥
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