応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 14a-B401-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

常圧で活性化熱処理したMg注入GaN層のホール効果測定
*田中 亮, 高島 信也, 上野 勝典, 江戸 雅晴, 堀田 昌宏, 須田 淳
著者情報
キーワード: 14a-B401-6, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, 窒化ガリウム, イオン注入, ホール効果
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