第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 14a-B401-5
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 67
開催地: 上智大学 四谷キャンパス
開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15
GaN中への窒素によるMgのリコイルインプランテーションの試み(5)
キーワード:
14a-B401-5,
半導体,
化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術,
窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価,
ワイドギャップ半導体,
GaN,
リコイルインプランテーション
詳細
記事の1ページ目
