(Ga<sub>x</sub>In<sub>1-x</sub>)<sub>2</sub>O<sub>3</sub>固溶体薄膜における結晶構造および電気的特性の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13p-D419-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_3526

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

(Ga_xIn_1-x)₂O₃固溶体薄膜における結晶構造および電気的特性の検討

*宝賀剛, 山下晶洸, 朝日透, 知京豊裕, 長田貴弘

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キーワード: 13p-D419-9, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 物性評価, 酸化ガリウム, 酸化インジウム, 構造制御

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