環状オレフィンポリマー基板表面への172nm真空紫外光照射が及ぼすZnO薄膜配向成長への影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10p-Z05-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_1003

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

環状オレフィンポリマー基板表面への172nm真空紫外光照射が及ぼすZnO薄膜配向成長への影響

*大賀友瑛, 大島淳史, 金子奈帆, 金子智, 松田晃史, 吉本護

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キーワード: 10p-Z05-12, 薄膜・表面, 薄膜新材料, フレキシブル薄膜, 酸化亜鉛, ポリマー, 真空紫外光

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