ミニマルファブを活用した液体TEMセルの作製プロセス開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 9a-Z10-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_1799

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

ミニマルファブを活用した液体TEMセルの作製プロセス開発

*柳永シュン, 村上勝久, 李晓光, 根本一正, 野田周一, 田中宏幸, 古賀和博, クンプアンソマワン, 森田行則, 松川貴, 原史朗, 竹口雅樹, 長尾昌善

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キーワード: 9a-Z10-1, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, MEMS/NEMS/センサー/アクチュエータ, ミニマルファブ

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