応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第81回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 10p-Z10-15
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

マイクロGレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型MEMS加速度センサ
*内山 晃宏, 市川 崇志, 古賀 達也, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉, 伊藤 浩之
著者情報
キーワード: 10p-Z10-15, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, MEMS/NEMS/センサー/アクチュエータ, MEMS, 加速度センサ, 静電容量型
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© 2020 公益社団法人 応用物理学会
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