MEMSロゴスキーコイル型電流センサの電流経路依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10p-Z10-16

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_1835

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

MEMSロゴスキーコイル型電流センサの電流経路依存性

*渡部善幸, 加藤睦人, 矢作徹, 村山裕紀, 吉田賢一, 指田和之, 池田克弥, 池田康亮, 竹森俊之

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キーワード: 10p-Z10-16, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, MEMS/NEMS/センサー/アクチュエータ, MEMS, ロゴスキーコイル, 電流センサ

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