応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第81回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 11a-Z09-5
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

BEOLプロセス互換酸化物半導体In-Al-Zn-Oを用いたゲート長40 nmのSurrounding Gate 縦型FETの動作実証
*藤原 弘和, 佐藤 祐太, 斉藤 信美, 上田 知正, 池田 圭司
著者情報
キーワード: 11a-Z09-5, 半導体, デバイス／配線／集積化技術, 新材料デバイス（Si、Ge、III-V、酸化物チャネルなど）, 酸化物半導体, 縦型電界効果トランジスタ
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