応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第81回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 11a-Z04-7
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Heイオン注入によりMOVPE成長p-GaNに生成されたトラップ評価
*徳田 豊吉田 光冨田 一義加地 徹伊藤 成志八木 孝秀
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