トリメチルインジウムとGaのトランスメタル化反応の解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 8a-Z02-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_2035

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

トリメチルインジウムとGaのトランスメタル化反応の解析

*赤石大地, 榊原聡真, 呉東臨, 叶正, 新田州吾, 本田善央, 天野浩, 白石賢二

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キーワード: 8a-Z02-7, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MOVPE）, 窒化ガリウム, AlInN, MOVPE

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