4H-SiCにおける表面形状が基底面部分転位対の収縮・拡張に与える影響の解明

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10p-Z23-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_2136

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

4H-SiCにおける表面形状が基底面部分転位対の収縮・拡張に与える影響の解明

*平能敦雄, 榊間大輝, 波田野明日可, 泉聡志

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キーワード: 10p-Z23-10, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, エピ／薄膜, 転位, 4H-SiC, 反応経路解析

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