第81回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 10p-Z24-6
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 81
開催地: オンライン開催
開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11
GaAs-based MEMS terahertz bolometers fabricated on high-resistivity Si substrates using wafer bonding technique
キーワード:
10p-Z24-6,
光・フォトニクス,
テラヘルツ全般,
テラへルツ発生・検出 (エレクトロニクス応用), 光伝導アンテナ, 量子カスケードレーザー, 共鳴トンネルダイオード, バックワードダイオード, HEMT, MEMS, 単一電子トランジスタ, グラフェン, カーボンナノチューブ,
terahertz,
MEMS,
wafer bonding
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