Ir/Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>スパッタ膜の熱刺激電流測定 (II)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 11p-Z07-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_969

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

Ir/Ta₂O₅スパッタ膜の熱刺激電流測定 (II)

*三沢源人, 島久, 内藤泰久, 秋永広幸

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キーワード: 11p-Z07-11, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 抵抗変化メモリ, 酸化タンタル, 熱刺激電流, トラップ準位

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