基板及びターゲット表面に水蒸気吹き付けした低温スパッタ成膜による酸化ニッケル薄膜の評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10a-Z05-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_989

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

基板及びターゲット表面に水蒸気吹き付けした低温スパッタ成膜による酸化ニッケル薄膜の評価

*片岡政貴, 阿部良夫, 川村みどり, 金敬鎬, 木場隆之

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キーワード: 10a-Z05-9, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, エレクトロクロミック, 水酸化ニッケル

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