Si薄膜成長へ向けたエピタキシャルグラフェンの表面改質

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10p-Z05-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_993

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

Si薄膜成長へ向けたエピタキシャルグラフェンの表面改質

*勝崎友裕, 社本利玖, 平井瑠一, 橋本明弘

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キーワード: 10p-Z05-2, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, エピタキシャルグラフェン, 表面改質, シリコン

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