Metal-Insulator-Metalメタマテリアル構造を応用した潤滑膜厚計測法の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-Z08-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1043

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

Metal-Insulator-Metalメタマテリアル構造を応用した潤滑膜厚計測法の検討

*岡谷泰佑, 金森義明

著者情報

キーワード: 19p-Z08-12, 光・フォトニクス, ナノ領域光科学･近接場光学, メタマテリアル, メタマテリアル, 金属/誘電体/金属, 膜厚計測

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