微小球リソグラフィ法を用いた多分割リング共振器の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-Z08-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1044

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

微小球リソグラフィ法を用いた多分割リング共振器の作製

*冨田亮, 岡本敏弘, 山口堅三, 桒原稔, 原口雅宣

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キーワード: 19p-Z08-13, 光・フォトニクス, ナノ領域光科学･近接場光学, メタマテリアル, メタマテリアル

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