応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19a-P02-7
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

プラズマプロセスによる水素脆性防止膜の作製と評価IV
*川崎 仁晴, 大島 多美子, 柳生 義人, 猪原 武士, 西口 廣志
著者情報
キーワード: 19a-P02-7, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, CVD・PVD・スパッタリング, プラズマプロセス, 薄膜作製, 水素ぜい化
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