応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 18p-Z24-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

エッチバック法を用いたGe-on-Insulator作製に向けたウェットエッチング法の検討
*清水 昇, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
著者情報
キーワード: 18p-Z24-4, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 平坦化/貼り合わせ, Ge, Ge-on-Insulator, ウェットエッチング
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