第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 18p-Z24-5
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 68
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19
プラズマCVDによるアモルファスシリコン堆積時の瞬間加熱に関する研究
キーワード:
18p-Z24-5,
半導体,
Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術,
TFT/Si/Ge etc./薄膜結晶化/レーザーアニール,
半導体,
アモルファスシリコン,
プラズマCVD
詳細
記事の1ページ目
