全反射蛍光X線法を用いたミニマル膜厚測定装置

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-Z24-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2326

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

全反射蛍光X線法を用いたミニマル膜厚測定装置

*大西佳那, 西里洋, 林達也, 酒井渉, 廣瀬潤, 野田周一, 小粥敬成, クンプアンソマワン, 原史郎

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キーワード: 19p-Z24-7, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 装置技術, ミニマル, 全反射蛍光X線法

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