応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 16a-Z16-7
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

TMAH 処理を施したGaN UMOSにおけるチャネル特性の面方位依存性
*平井 悠久, 三浦 喜直, 中島 昭, 原田 信介, 山口 浩
著者情報
キーワード: 16a-Z16-7, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, 窒化ガリウム, 酸化膜, トレンチ
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