応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 16a-Z16-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

GaN縦型トレンチMOSFETの界面特性に対する窒素プラズマ処理の効果
*NAM KyungPil, 石田 崇, Matys Maciej, 上杉 勉, 加地 徹, 須田 淳
著者情報
キーワード: 16a-Z16-8, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, GaN縦型トレンチMOSFET, 窒素プラズマ処理
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